Heizvorrichtung mittels eines XeF lasers

EP2375513 Art A3 19. Juli 2017

Anmelder: Cymer, LLC, TCZ LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2375513
Aktenzeichen
EP11155113
Anmeldetag
12. November 2004
Veröffentlichung
19. Juli 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01S3/22B23K26/073B23K26/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Cymer, LLC
TCZ LLC
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen