Verschiebungsmessvorrichtung mittels heterodyner Interferometrie

EP2378243 Art A1 19. Oktober 2011

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2378243
Aktenzeichen: EP11160627
Anmeldetag: 31. März 2011
Veröffentlichung: 19. Oktober 2011
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02G01D5/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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