Resiststrukturbeschichtungsmittel und Verfahren zur Formung einer Resiststruktur damit

EP2378362 Art A1 19. Oktober 2011

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2378362
Aktenzeichen: EP09822037
Anmeldetag: 21. Oktober 2009
Veröffentlichung: 19. Oktober 2011
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/40H01L21/027G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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