Verfahren zur Prozessierung und Untersuchung von Halbleitersubstraten

EP2378548 Art A1 19. Oktober 2011

Anmelder: Nanda Technologies GmbH, IMEC 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2378548
Aktenzeichen: EP10004141
Anmeldetag: 19. April 2010
Veröffentlichung: 19. Oktober 2011
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/95H01L21/768H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nanda Technologies GmbH
IMEC
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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