Steuerung der Ionenenergieverteilung in Plasmaverarbeitungssystemen
EP2380413
Art A2
26. Oktober 2011
Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2380413
- Aktenzeichen
- EP09837888
- Anmeldetag
- 16. Dezember 2009
- Veröffentlichung
- 26. Oktober 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05H1/36H01L21/3065H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
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Schwerpunkte