Elektronenstrahlbelichtungsvorrichtung und Verfhahren zur Herstellung eines Bauteils

EP2381462 Art A2 26. Oktober 2011

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2381462
Aktenzeichen: EP11162415
Anmeldetag: 14. April 2011
Veröffentlichung: 26. Oktober 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/304H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

19.221 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von