Filmbildungsverfahren

EP2381483 Art B1 10. Dezember 2014

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2381483
Aktenzeichen
EP09835076
Anmeldetag
28. Dezember 2009
Veröffentlichung
10. Dezember 2014
Erteilung
10. Dezember 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01L31/04C23C16/509H01L31/0216H01L31/0224H01L31/18
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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