Verfahren zur Herstellung einer Membran aus Diamantähnlichem Kohlenstoff

EP2383366 Art B1 22. April 2015

Anmelder: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2383366
Aktenzeichen: EP09839289
Anmeldetag: 28. Dezember 2009
Veröffentlichung: 22. April 2015
Erteilung: 22. April 2015
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/27C23C16/515H01L21/31H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kobe Steel

Japanischer Mischkonzern mit Sitz in Kobe, gegründet 1905. Tätigkeitsfelder umfassen Stahl- und Aluminiumerzeugnisse, Maschinenbau sowie Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von