Substrattragbühne einer Plasmaverarbeitungsvorrichtung

EP2383367 Art A1 2. November 2011

Anmelder: Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2383367
Aktenzeichen: EP09838840
Anmeldetag: 15. Oktober 2009
Veröffentlichung: 2. November 2011
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/458H01L21/205H01L21/3065H01L21/31H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von