Method for obtaining a layer of AlN with substantially vertical flanks
EP2383775
Art B1
15. März 2017
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2383775
- Aktenzeichen
- EP11163944
- Anmeldetag
- 27. April 2011
- Veröffentlichung
- 15. März 2017
- Erteilung
- 15. März 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311H01L41/22
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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Ilgart, Jean-Christophe
Paris, Frankreich
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