Verfahren zur Herstellung biaxial strukturierter Folien und Folien, die unter Anwendung eines solchen Verfahrens erhalten wurden

EP2385150 Art A1 9. November 2011

Anmelder: ETH Zurich 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2385150
Aktenzeichen: EP10004722
Anmeldetag: 5. Mai 2010
Veröffentlichung: 9. November 2011
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/02C23C16/48C30B28/00C23C14/22H01L39/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ETH Zurich
Land: 🇨🇭 Schweiz

🇨🇭 ETH Zürich

Eidgenössische Technische Hochschule Zürich, Schweizer Hochschule mit Forschungsschwerpunkten in Natur-, Ingenieur- und Materialwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

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