System und Verfahren für Flüssigkeitsfiltrierung mit vermindertem Stauvolumen

EP2386340 Art A1 16. November 2011

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2386340
Aktenzeichen
EP11177309
Anmeldetag
13. Juni 2007
Veröffentlichung
16. November 2011
Rechtsraum
EP
IPC
B01D29/11B01D29/21B01D29/92
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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