Prozessflüssigkeitspendesystem und -methode

EP2388232 Art B9 6. März 2019

Anmelder: Entegris, Inc., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2388232
Aktenzeichen
EP11158789
Anmeldetag
5. Juni 2006
Veröffentlichung
6. März 2019
Erteilung
6. März 2019
Rechtsraum
EP
IPC
B67D7/02B67D1/08// B67D7/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
Advanced Technology Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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