Elektronenstrahllithografiesystem mit mehreren Säulen und Verfahren zur Einstellung der Elektronenstrahlbahn
EP2388801
Art B1
7. November 2012
Anmelder: Advantest Corporation, Yabe, Takayuki 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2388801
- Aktenzeichen
- EP09841827
- Anmeldetag
- 16. März 2009
- Veröffentlichung
- 7. November 2012
- Erteilung
- 7. November 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/317H01J37/302
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Advantest Corporation
Yabe, Takayuki - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Advantest
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.
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Fachgebiete
Kanzlei
Tetzner & Partner mbB
München, Deutschland
Tetzner & Partner mbB ist eine Münchner Patent- und Rechtsanwaltskanzlei, die seit 1962 zu Patentrecht, Markenrecht und weiteren Bereichen des gewerblichen Rechtsschutzes berät und Mandanten als European Patent and Trademark Attorney vertritt.
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