Sputtereinrichtung, Sputterverfahren und Verfahren zur Herstellung einer Elektronischen Vorrichtung

EP2390380 Art B1 9. März 2016

Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2390380
Aktenzeichen: EP09834517
Anmeldetag: 25. Dezember 2009
Veröffentlichung: 9. März 2016
Erteilung: 9. März 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34H01F41/18H01L43/08H01L43/12C23C14/54H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Canon Anelva Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

421 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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