System und Verfahren zur gepulsten Massenstromzuführung
EP2390382
Art A3
25. Januar 2012
Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2390382
- Aktenzeichen
- EP11174289
- Anmeldetag
- 23. Februar 2005
- Veröffentlichung
- 25. Januar 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/455C23C16/52
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MKS Instruments, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Hill, Justin John
London, Großbritannien
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