Elektronenkanone, Lithographievorrichtung, Artikelherstellungsverfahren und Elektronenstrahlgerät
EP2390896
Art A1
30. November 2011
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2390896
- Aktenzeichen
- EP11167638
- Anmeldetag
- 26. Mai 2011
- Veröffentlichung
- 30. November 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/063H01J37/065H01J1/02G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CANON KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
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