Teilchenstrahlgerät
EP2393104
Art B1
19. März 2014
Anmelder: Carl Zeiss NTS Limited, Carl Zeiss SMT Limited 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2393104
- Aktenzeichen
- EP11179620
- Anmeldetag
- 8. Januar 2007
- Veröffentlichung
- 19. März 2014
- Erteilung
- 19. März 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/26H01J37/30// H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss NTS Limited
Carl Zeiss SMT Limited - Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Roberts, David Leslie
Cambridge, Großbritannien
96
Patente gesamt
25
Fachgebiete
11
Anmelder-Länder
Schwerpunkte