Verbessertes Elektrisch Abstimmbares Fabry-Pérot-Interferometer sowie Zwischenprodukt und Elektrodenanordnung und Verfahren zur Herstellung eines Elektrisch Abstimmbaren Fabry-Pérot-Interferometers

EP2394146 Art B1 29. März 2023

Anmelder: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy, Teknologian Tutkimuskeskus VTT 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2394146
Aktenzeichen
EP10735510
Anmeldetag
27. Januar 2010
Veröffentlichung
29. März 2023
Erteilung
29. März 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G01J3/26G02B5/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Teknologian Tutkimuskeskus VTT
Land
🇫🇮 Finnland

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