Herstellungsverfahren für Siliziumkarbid-Einzelkristallsubstrat

EP2394787 Art B1 29. Mai 2019

Anmelder: Hitachi Metals, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2394787
Aktenzeichen: EP10738365
Anmeldetag: 4. Februar 2010
Veröffentlichung: 29. Mai 2019
Erteilung: 29. Mai 2019
Rechtsraum: EP
IPC: B24B37/00H01L21/02H01L21/16C30B25/18C30B29/36C30B33/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi Metals, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Proterial

Japanisches Unternehmen (frühere Firmierung Hitachi Metals), das Spezialstähle, Magnetwerkstoffe und Metallkomponenten für Industrie und Automobilbau herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von