Verfahren zum Drucken von Ätzmasken, das Phasenwechselmaterialien verwendet

EP2395394 Art B1 8. April 2015

Anmelder: Xerox Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2395394
Aktenzeichen: EP11180712
Anmeldetag: 19. April 2002
Veröffentlichung: 8. April 2015
Erteilung: 8. April 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G03F7/20G03F1/00B41M3/00G02F1/1368H01L21/033H01L21/308

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Xerox Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Xerox

US-amerikanischer Technologiekonzern, der Drucker, Kopierer, Multifunktionsgeräte sowie Dokumentenmanagement- und Druckdienstleistungen für Unternehmen anbietet.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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