Herstellungsverfahren eines Gitters aus überkreuzten Zugangsleiterbahnen
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Centre National de la Recherche Scientifique, Université Joseph Fourier, CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE, Universite Joseph Fourier 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2395543
- Aktenzeichen
- EP11167959
- Anmeldetag
- 27. Mai 2011
- Veröffentlichung
- 16. Januar 2013
- Erteilung
- 16. Januar 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/033H01L21/3213G03F7/033
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Centre National de la Recherche Scientifique
Université Joseph Fourier
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
Universite Joseph Fourier - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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