Hardmaskenprozess zur Bildung eines Negativtonbildes unter Verwendung von Polysilazan
EP2396703
Art B1
10. Juni 2015
Anmelder: Merck Patent GmbH, AZ Electronic Materials USA Corp. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2396703
- Aktenzeichen
- EP09785860
- Anmeldetag
- 30. März 2009
- Veröffentlichung
- 10. Juni 2015
- Erteilung
- 10. Juni 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/40H01L21/027H01L21/033H01L21/3213
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Merck Patent GmbH
AZ Electronic Materials USA Corp. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Merck KGaA
Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.
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