Beschichtungsverfahren und Beschichtungsvorrichtung

EP2397232 Art A1 21. Dezember 2011

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2397232
Aktenzeichen: EP11170339
Anmeldetag: 17. Juni 2011
Veröffentlichung: 21. Dezember 2011
Rechtsraum: EP
IPC: B05D1/00G03F7/16H01L21/67// B05D3/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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