Aufquellendes Resiststrukturmaterial und Verfahren zur Strukturierung damit
EP2397901
Art A1
21. Dezember 2011
Anmelder: Fujitsu Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2397901
- Aktenzeichen
- EP11178785
- Anmeldetag
- 12. August 2002
- Veröffentlichung
- 21. Dezember 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00G03F7/40H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Fujitsu Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujitsu
Japanisches Unternehmen für Informationstechnik, das Computer, Server, Netzwerktechnik sowie IT-Dienstleistungen und Softwarelösungen entwickelt und anbietet.
17.884 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Wilding, Frances Ward
London, Großbritannien
1.184
Patente gesamt
27
Fachgebiete
8
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Schwerpunkte