Magnetische Haltevorrichtung und Verfahren zum Halten eines Substrats

EP2397905 Art A1 21. Dezember 2011

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2397905
Aktenzeichen: EP10166021
Anmeldetag: 15. Juni 2010
Veröffentlichung: 21. Dezember 2011
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L51/00C23C14/04H01L27/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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