Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP2397906 Art A3 10. Juni 2015

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2397906
Aktenzeichen: EP11164727
Anmeldetag: 4. Mai 2011
Veröffentlichung: 10. Juni 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G03F9/00H01J37/304H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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