Anordnung und Verfahren zur dropletarmen Beschichtung von Substraten mit einem Vakuumlichtbogenverdampfer

EP2398037 Art A1 21. Dezember 2011

Anmelder: Grimm, Werner, Grimm, Herr Werner 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2398037
Aktenzeichen: EP11170466
Anmeldetag: 19. Juni 2011
Veröffentlichung: 21. Dezember 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32H05H1/48

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Grimm, Werner
Grimm, Herr Werner
Land: 🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von

Pätzelt, Peter Dresden, Deutschland

38

Patente gesamt

13

Fachgebiete

3

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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