Verfahren zum Bilden eines dotierten Bereichs in einer Halbleiterschicht eines Substrats und Verwendung des Verfahrens

EP2398071 Art B1 16. Januar 2013

Anmelder: IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2398071
Aktenzeichen
EP11166861
Anmeldetag
20. Mai 2011
Veröffentlichung
16. Januar 2013
Erteilung
16. Januar 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L31/068H01L31/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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