Entwurf eines Polarisierungs-/überwachungsfadenkreuzes für Lithographiesysteme mit Hoher Numerischer Apertur
EP2399105
Art B1
31. Oktober 2018
Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2399105
- Aktenzeichen
- EP10744347
- Anmeldetag
- 19. Februar 2010
- Veröffentlichung
- 31. Oktober 2018
- Erteilung
- 31. Oktober 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01J4/04G03F1/44G03F7/20G06F17/50
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- International Business Machines Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
IBM
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.
12.049 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
King, Lawrence
London, Großbritannien
390
Patente gesamt
28
Fachgebiete
21
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Roberts, Scott Anthony
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