Chemisch Verstärkte Resistzusammensetzung sowie Formherstellungsverfahren dafür und Resistfilm damit

EP2399168 Art A1 28. Dezember 2011

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2399168
Aktenzeichen
EP10792234
Anmeldetag
23. Juni 2010
Veröffentlichung
28. Dezember 2011
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/039B29C33/38B29C59/02C08F12/00C08F20/00C08F20/50G03F7/004H01L21/027G03F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik
Vertreten von
Siegert, Georg München, Deutschland
452
Patente gesamt
33
Fachgebiete
22
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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