Verfahren zur Elektrolytischen Abscheidung von Kupfer in Chip-Zu-Chip, Chip-Zu-Wafer und Wafer-Zu-Wafer Durchkontaktierungen durch Silizium
Anmelder: MKS IP Association, Atotech Deutschland GmbH, ATOTECH Deutschland GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2399281
- Aktenzeichen
- EP09799392
- Anmeldetag
- 16. Dezember 2009
- Veröffentlichung
- 20. April 2016
- Erteilung
- 20. April 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/288H01L21/768C25D3/38C25D5/02C25D5/18C25D7/12C25D21/16
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- MKS IP Association
Atotech Deutschland GmbH
ATOTECH Deutschland GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.
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Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.
545 Patente in unserer Datenbank
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