Koaxiale Hohlkathodenplasma Unterstützte Gerichtete Aufdampfung und Zugehöriges Verfahren
EP2401232
Art B1
6. Januar 2016
Anmelder: University of Virginia Patent Foundation, Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., University Of Virginia Patent Foundation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2401232
- Aktenzeichen
- EP10746778
- Anmeldetag
- 24. Februar 2010
- Veröffentlichung
- 6. Januar 2016
- Erteilung
- 6. Januar 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C01B33/12C23C16/513H05H1/24H01J37/32H01J37/34H01J37/305
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- University of Virginia Patent Foundation
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
University Of Virginia Patent Foundation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of Virginia Patent Foundation
US-amerikanische Stiftung, über die Patente und Erfindungen aus der Forschung der University of Virginia verwaltet und lizenziert werden.
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🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.
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