Resistzusammensetzung zur Entwicklung von Negativtönen und Strukturformungsverfahren damit

EP2401654 Art A1 4. Januar 2012

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2401654
Aktenzeichen: EP10746366
Anmeldetag: 24. Februar 2010
Veröffentlichung: 4. Januar 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/038C08F20/28G03F7/039G03F7/30H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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