Verfahren zur Herstellung einer Heterostruktur mit dem Ziel des Verringerns des Zugspannungszustands des Donorsubstrats
EP2404318
Art A1
11. Januar 2012
Anmelder: Soitec, S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2404318
- Aktenzeichen
- EP09841026
- Anmeldetag
- 9. September 2009
- Veröffentlichung
- 11. Januar 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/762
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Soitec
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Soitec
Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.
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Fachgebiete
Vertreten von
Branger, Jean-Yves
Saint-Grégoire, Frankreich
141
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Regimbeau
Regimbeau · Rennes