Verfahren zum Materialabtrag an Festkörpern mit Herabsetzen der zeitlichen und/oder räumlichen Kohärenz der Laserstrahlung

EP2404697 Art A1 11. Januar 2012

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2404697
Aktenzeichen: EP11005574
Anmeldetag: 7. Juli 2011
Veröffentlichung: 11. Januar 2012
Rechtsraum: EP
IPC: B23K26/18B23K26/36B23K26/40H01L27/142H01L31/0224

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

10.123 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von