Wechselspannungsnetzteil für Sputtergerät

EP2405566 Art A1 11. Januar 2012

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2405566
Aktenzeichen
EP10748439
Anmeldetag
15. Februar 2010
Veröffentlichung
11. Januar 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H02M7/5387C23C14/34H05H1/46H01J37/34H02M1/34
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Ulvac, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Epping, Wilhelm München, Deutschland
318
Patente gesamt
31
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation Elektronik & Schaltungstechnik Software & Datenverarbeitung Optik & Fototechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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