MEMS-Vorrichtung mit einem hermetisch versiegelten Hohlraum und und damit erhaltene Vorrichtungen

EP2407418 Art A3 9. April 2014

Anmelder: IMEC VZW, Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2407418
Aktenzeichen
EP11005669
Anmeldetag
12. Juli 2011
Veröffentlichung
9. April 2014
Rechtsraum
EP
IPC
B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC VZW
Imec VZW
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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