Verfahren zur Entfernung von Restwassermolekülen in einem Verfahren zur Herstellung eines Metallischen Dünnfilms und sowie Spül-/reinigungsmittel dafür
EP2407576
Art A1
18. Januar 2012
Anmelder: Adeka Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2407576
- Aktenzeichen
- EP10750648
- Anmeldetag
- 15. Februar 2010
- Veröffentlichung
- 18. Januar 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44C23C16/52H01L21/285C23C16/455H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Adeka Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ADEKA Corporation
ADEKA Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Additive für Kunststoffe, Lebensmittelzutaten und Spezialchemikalien herstellt.
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Kanzlei
Boeters & Lieck
München, Deutschland
Boeters & Lieck ist eine Kanzlei aus Patentanwälten und Rechtsanwälten mit Sitz in München. Sie ist als European Patent and Trademark Attorneys tätig und bei der Patentanwaltskammer sowie dem Institut der beim Europäischen Patentamt zugelassenen Vertreter (epi) registriert.
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