Atomlagenabscheidungsvorrichtung und Verfahren zur Dünnschichtbildung

EP2408003 Art B1 24. September 2014

Anmelder: Mitsui Engineering & Shipbuilding Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2408003
Aktenzeichen
EP10750510
Anmeldetag
3. März 2010
Veröffentlichung
24. September 2014
Erteilung
24. September 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/31C23C16/44C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Mitsui Engineering & Shipbuilding Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsui Engineering & Shipbuilding

Mitsui Engineering & Shipbuilding ist ein japanischer Schiffbau- und Maschinenbaukonzern, der heute Teil von Mitsui E&S ist. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fahrzeugtechnik für Schiffe, ergänzt durch Halbleiter-, Antriebs- und Fördertechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2018.

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