Verfahren zur Plasmatexturierung mittels Zwei Trockenätzschritte

EP2409335 Art B1 6. Juni 2018

Anmelder: IMEC VZW, IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2409335
Aktenzeichen: EP09781346
Anmeldetag: 31. Juli 2009
Veröffentlichung: 6. Juni 2018
Erteilung: 6. Juni 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L31/0236H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
IMEC
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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