Polierschmiere für Siliziumoxid, Additivflüssigkeit und Polierverfahren
EP2410558
Art A3
18. April 2012
Anmelder: Hitachi Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2410558
- Aktenzeichen
- EP11185392
- Anmeldetag
- 9. November 2006
- Veröffentlichung
- 18. April 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3105C09G1/02C09K3/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi Chemical
Ehemaliges japanisches Chemieunternehmen, das Materialien für Halbleiter, Batterien und Verbundwerkstoffe herstellte. Ging nach mehreren Umfirmierungen im Konzern Resonac auf.
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Vertreten von
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München