Reinigungsverfahren, Reinigungsvorrichtung und Gan-Wafer
EP2412009
Art A1
1. Februar 2012
Anmelder: Osaka University, Ebara Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2412009
- Aktenzeichen
- EP10756259
- Anmeldetag
- 19. März 2010
- Veröffentlichung
- 1. Februar 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/304B24B37/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Osaka University
Ebara Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Osaka University
Staatliche Universität in Osaka, Japan, eine der führenden Forschungsuniversitäten des Landes mit Schwerpunkten in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.
2.434 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
1.514 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Wagner, Karl H
München, Deutschland
2.990
Patente gesamt
33
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte