Regenerativer Ringresonator

EP2412067 Art A1 1. Februar 2012

Anmelder: Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2412067
Aktenzeichen
EP10756630
Anmeldetag
18. März 2010
Veröffentlichung
1. Februar 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01S3/23H01S3/083H01S3/225// H01S3/08H01S3/10H01S3/105
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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