Polymer, chemisch erweiterte negative Resistzusammensetzung und Musterungsverfahren

EP2412733 Art B1 23. März 2016

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2412733
Aktenzeichen: EP11175294
Anmeldetag: 26. Juli 2011
Veröffentlichung: 23. März 2016
Erteilung: 23. März 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C08F26/06G03F7/038C07D239/10// G03F1/00G03F7/20G03F7/004

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Organische Chemie

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