Plasmaverarbeitungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Amorphen Siliciumdünnschicht damit

EP2413349 Art A1 1. Februar 2012

Anmelder: Toray Industries, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2413349
Aktenzeichen
EP10755897
Anmeldetag
15. März 2010
Veröffentlichung
1. Februar 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/205H01L31/04H01J37/32C23C16/44C23C16/455H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Toray Industries, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Toray Industries

Japanischer Chemie- und Materialkonzern mit Sitz in Tokio. Toray entwickelt Kohlefasern, synthetische Fasern, Kunststoffe, Chemikalien sowie Materialien für Textil-, Automobil-, Elektronik- und Luftfahrtindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Hager, Thomas Johannes München, Deutschland
974
Patente gesamt
33
Fachgebiete
14
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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