Herstellung einer ein Nems-Bauteil aus Monokristallinem Silizium und einen Transistor Umfassenden Mikroelektronischen Vorrichtung, dessen Gate in der Gleichen Schicht Wie die Bewegliche Struktur des Bauteils hergestellt Ist

EP2414276 Art B1 6. Februar 2019

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2414276
Aktenzeichen
EP10712401
Anmeldetag
26. März 2010
Veröffentlichung
6. Februar 2019
Erteilung
6. Februar 2019
Rechtsraum
EP
IPC
B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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