Herstellung einer ein Nems-Bauteil aus Monokristallinem Silizium und einen Transistor Umfassenden Mikroelektronischen Vorrichtung, dessen Gate in der Gleichen Schicht Wie die Bewegliche Struktur des Bauteils hergestellt Ist
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2414276
- Aktenzeichen
- EP10712401
- Anmeldetag
- 26. März 2010
- Veröffentlichung
- 6. Februar 2019
- Erteilung
- 6. Februar 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
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