Extrem-Ultraviolett- Lichtquelle mit einer Verschmutzungsgeminderten und Gekühlten Kollektoroptik

EP2414898 Art A1 8. Februar 2012

Anmelder: ETH Zurich 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2414898
Aktenzeichen
EP10711573
Anmeldetag
25. März 2010
Veröffentlichung
8. Februar 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20B08B5/00B08B17/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ETH Zurich
Land
🇨🇭 Schweiz
🇨🇭 ETH Zürich

Eidgenössische Technische Hochschule Zürich, Schweizer Hochschule mit Forschungsschwerpunkten in Natur-, Ingenieur- und Materialwissenschaften.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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