Vorrichtung zur Bearbeitung Scheibenförmiger Artikel
EP2415075
Art B1
25. September 2019
Anmelder: Lam Research AG 🇦🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2415075
- Aktenzeichen
- EP10758134
- Anmeldetag
- 25. März 2010
- Veröffentlichung
- 25. September 2019
- Erteilung
- 25. September 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/683H01L21/02B23Q3/15F16C32/04H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research AG
- Land
- 🇦🇹 Österreich
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte