Substratverarbeitungsvorrichtung sowie Vorrichtung zur Herstellung einer Magnetvorrichtung

EP2415898 Art B1 29. April 2020

Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2415898
Aktenzeichen: EP09809052
Anmeldetag: 2. März 2009
Veröffentlichung: 29. April 2020
Erteilung: 29. April 2020
Rechtsraum: EP
IPC: B82Y10/00B82Y25/00C23C14/35C23C14/50G11B5/31G11B5/39H01J37/34H01L43/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Anelva Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

421 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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